突破芯片测试瓶颈!微电子学院研发 “高精度芯片测试探针

　　近日，临港文理学院微电子学院 “芯片测试技术研发团队” 研发的 “高精度芯片测试探针”，通过国家半导体器件质量监督检验中心认证，在国内 5 家芯片制造企业实现量产应用。该探针针尖直径仅 2 微米，测试精度达 0.01 欧姆，较传统探针测试效率提升 3 倍，成本降低 40%，有效解决芯片测试环节 “精度低、损耗高” 的难题。

　　团队负责人李教授介绍，传统芯片测试探针存在针尖易磨损、接触电阻不稳定等问题，影响芯片测试准确性与效率。团队历经 3 年攻关，采用碳化钨合金材料与纳米涂层技术，研发出高强度、低电阻的新型探针，可实现 10 万次以上稳定测试。“在某芯片企业试点中，该探针使芯片测试良率从 92% 提升至 98%，每年为企业节约测试成本超 200 万元。” 李教授说。

　　目前，该技术已申请国家发明专利 4 项，与 8 家半导体企业签订合作协议，年产能达 100 万支;团队还开发 “芯片测试数据分析系统”，为企业提供测试数据可视化与故障诊断服务，累计服务企业 15 家。学校表示，将持续加大微电子领域科研投入，推动更多芯片关键技术成果转化，助力我国半导体产业发展。

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